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半导体晶圆清洗,国外是兆声波为主,国内只能生产超声波,真是恨不争气啊

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高雅的雅
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2018论坛解答高手
发表于:2020/5/6 23:54:46
#0楼
半导体晶圆清洗,国外是兆声波为主,国内只能生产超声波,真是恨不争气啊
那一瞬间忽然不再想你,因为去一趟漠河,走了一趟西藏,逛了一趟天涯海角,泡了一会栖谷温泉,回来就是:一切随他去吧,该咋过咋过!!车祸不死感言
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发表于:2020/5/7 8:21:27
#1楼
附件 33333333.jpg
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goldage
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发表于:2020/5/7 21:57:00
#2楼
科普一下在半导体行业中这两种清洗方式的有点和缺点,成本优势在哪里?用数据说话
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chengzheng
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发表于:2020/5/9 10:50:59
#3楼
超声波是20KHZ以上。

没接触过此类设备。
感觉超声波跟清洗有个毛关系。
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goldage
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发表于:2020/5/9 21:45:46
#4楼
超声波清洗机的基本原理是换能器让清洗液震动冲刷需要清洗物体的表面,大排档清洗小龙虾的就是超声波清洗机,印刷版辊的清洗等等
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高雅的雅
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发表于:2020/5/9 21:54:45
#5楼
超声波波长较长,兆声波波长比超声波小了几个几何量级!!
超声波对于表面平整度在纳米级别的晶圆,即使在清洗槽内衍射依然不能充分覆盖晶圆全部表面导致晶圆研磨后的硅粉尘不能全部剥离干净!!兆声波波长比超声波小了几个几何量级,更能贴近晶圆表面,对晶圆表面的硅粉尘可以更加有效剥离去除,目前国内的压电陶瓷材料远逊于小日本等等国外产品,而压电陶瓷是电转化为兆声波的唯一可以大规模工业应用的转化介质......

本来我看到1楼那种无知的东西(看那个东西连中文都不懂,真不知这种东西作为中国垃圾应该早点进入焚化炉处理掉),我的意思很清楚,但是那个垃圾实在不知道中文意思
那一瞬间忽然不再想你,因为去一趟漠河,走了一趟西藏,逛了一趟天涯海角,泡了一会栖谷温泉,回来就是:一切随他去吧,该咋过咋过!!车祸不死感言
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