COMDEL射频电源CX-600S维修

射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年代新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中.现代的射频电源有了长足发展，由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源，功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦，频率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等，而应用也从以前的真空领域扩展到其他领域。
我司经常维修的是用于磁控真空溅度的射频电源和脉冲电源，主要维修品牌有AE，ADL等。特别是AE，ADL这两个品牌我们的软件和硬件特别齐全；可以直接烧录底层程序，测试硬件设备配套。包括profibus-dp组态的GSD文件我们都齐全。

正题开始：今天来了一台CX-600S射频电源，当然不是它自己走来的是去客户那里拖回来的。本来想打电话问问客户原来是什么故障，后来想了想怕客户说我们不专业不会搞。
好吧开机盖，看看有没有明显烧坏，掉线，螺丝松动的情况，结果没有发现；第二步用万用表测量下bus电容上面有没有残留能量（这个很重要关系到安全，我每次都会在打开机器后测试下这个玩意儿），测量下射频功率输出三极管，整流桥等功率部分短路开路的，发现整流桥的正极和两个交流端子开路，当然我知道是烧了。这时我再详细看了看主拓扑架构，发现这个机器进电通过共模差模滤波器经过继电器送到变压器变压后直接加到整流桥，整流桥输出当然接到的是BUS电容上面了。我想怎么在变压器输入或输出到bus电容部分都没有软起动电阻（一般应该有这个东西的，至于为什么没有我也弄不懂，哪位来解答下十分感谢）？我想可能是开启时候经常冲击过大引起整流桥坏的，这样我就先暂时不用去拆功率输出三极管下来测量了（拆起来很麻烦）。由于手里那种型号的大电流的整流模块刚好用完了就随便找了个大电流高耐压的放上去试一试再说，好了之后再买不迟（但是上电时要先穿灯泡上电再旁路灯泡直接送电）。上好整流桥装上机壳接好负载短路好互锁使能等远程端口信号串灯泡通电机器有显示没有出现任何异常，启动输出功率从0开始慢慢往上调当调到60多瓦时灯丝发红，这时表明基本上可以正常输出。然后再把功率调到0再闭合旁路灯泡的空气开关直接通电给电源；功率调节到满载没有发现异常，再停止输出在满载情况下做几次启动和停止发现没有出现问题。然后派人去华强北把整流块买回来装好把机器搬到测试房去满载测试了2个多小时没发现问题。这台机器就这样搞定了。

由于本人这是第一次写帖子望版主不要删掉，实在找不到地方发所有就发变频器维修栏了。说老实话本人只是个小学毕业对于这些只能算个爱好者所以文笔不好，以后发帖我尽量用protel绘一份电路图纸便于看图分析。本人维修了多年的电子仪器（安捷伦，泰克，立科，罗德与施瓦茨，横河等等）和自动化电子设备（品牌你们都知道的）；不过一直都是在帮别人做事，很想自己出来创业。不知道有没有朋友给我建议。

嗯，一直都修仪器和自动化的。

漏感大必定效率低不可能拿这个来开玩笑啊。