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请教对真空镀膜设备的问题！

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laozhou4
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发表于：2014/9/23 17:26:37
#0楼
近段时间发现使用的真空镀膜设备上的电离规管坏的频率很高，基本一个星期更换一个，请教各位大侠，引起电离规管坏的原因有哪些？如何处理？谢谢！！！
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yejingmao
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2017春节活动(三)
发表于：2014/9/24 8:33:43
#1楼
负载是流太大了，钩表测试下
自学成才！
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laozhou4
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发表于：2014/9/30 17:26:18
#2楼
回复 #1楼 yejingmao
负载电流太大？钩表测量一下？怎么测呢？是灯丝阻值变化了
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laozhou4
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发表于：2014/9/30 17:27:47
#3楼
回复 #1楼 yejingmao
电离规管时测量真空度的10（-2）pa以下的，就是达到10（-2）pa以下后变化太快
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