发表于:2011/1/7 19:34:09
#0楼
光栅尺重复定位问题
求教各位老师,我做了台测长机,长度3米,用三菱伺服电机+联轴器+滚珠丝杆+光栅尺,带动滑台前后移动,用雷尼紹的开式光栅尺检测并形成闭环控制,反馈相对位置。激光干涉仪与滑台一起同步移动,请问连续多次移动2000mm,发现光栅尺的读数与激光干涉仪的读数有时差0.003mm左右有时差0.012左右,为什么不一样,请高人帮助指导。
求教各位老师,我做了台测长机,长度3米,用三菱伺服电机+联轴器+滚珠丝杆+光栅尺,带动滑台前后移动,用雷尼紹的开式光栅尺检测并形成闭环控制,反馈相对位置。激光干涉仪与滑台一起同步移动,请问连续多次移动2000mm,发现光栅尺的读数与激光干涉仪的读数有时差0.003mm左右有时差0.012左右,为什么不一样,请高人帮助指导。