【2013获奖报告】LOGO!控制器在硅片铝腐蚀台的使用总结

作者：陈 康
公司名称：无锡市**电子有限公司

摘要：本文主要介绍了本人对LOGO!控制器的认识和LOGO!控制器在半导体硅片腐蚀清洗中设备中的试用情况。

关键词：微电子；LOGO!控制器；硅片腐蚀设备。

微电子技术正在悄悄走进航空航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。

微电子技术是一门综合性很强的边缘学科，自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这样就为电子计算机进入千家万户铺平了道路。使我们的生活越来越现代化。

无锡市瑞达电子有限公司自1992年开始涉足微电子设备行业，凭借中国华晶电子集团这个国家微电子基地的优势和经验，对引进的国际先进设备，工装夹具及引线框料盒（Magazine）等一系列产品进行消化吸收、改进研发，为无锡华润微电子、绍兴华越微电子、吉林华微股份等老牌微电子企业设计制造、改造多种专用设备、辅助设备、Magazine 等。 现已拥有硅片清洗机、双槽清洗机、二氧化硅腐蚀机、去胶机、硅片光刻预处理系统（OAP）、高反压玻璃电泳设备，炉管清洗机，料盒清洗机，甩干机等全自动、半自动半导体设备的设计制造能力，与国内70多家微电子生产企业保持良好的业务合作关系，其中知名外商独资、合资、台资等大型企业达20多家。

本文主要介绍一种利用西门子LOGO!控制器控制的硅片铝腐蚀清洗设备，能够体验西门子LOGO!控制器，本人是荣幸之至。之前无论是在学校里还是在工作中使用到的都是PLC，但是在实际工作中遇到很多控制器其实是没有必要选择功能强大的PLC的，简单的逻辑控制器完全能够胜任。这样对设备的成本控制也是一个很大的帮助。在工控体验网中发现西门子LOGO！控制器有给试用的机会，当时就迫不及待的注册申请了。幸运的是，西门子LOGO！控制器体验第二期中竟然就抽中了。还是非常感谢工控网和西门子LOGO!控制器给我这次机会！

在工作人员耐心的询问了我试用的需求之后，很快就配置好了控制器快递到我手中，收到快递之后，发现了工作人员的工作细致之处，一起寄送的还有控制器与PC的通讯数据线和LOGO！控制器实训教程，有了这两个帮手，对体验者来可以说是事半功倍了。

拿到产品首先是小巧的外观吸引了我，操作员界面是一个背光显示屏，详细阅读了实训教程，对LOGO!控制器有了大概的了解。立即安装LOGO!控制器的编程软件，开始通电试用了。首先按照教程上的介绍进行了一些小的电路路的编程，下载到控制器中看一下控制器与PC的通讯是否正常，之后就是一个漫长的摸索阶段了，先熟悉编程的方便，还有怎么能够使用控制器附带的操作界面，模拟量输入输出怎么使用，界面的的按键都是怎么使用的，画面怎么编辑，画面和控制程序怎么关联，怎么能从界面上修改程序里使用的数据寄存器的数值，如果这些都能实现的话，这样就剩下了外置定时器、计数器的费用了，结果还是很惊喜的，这些都可以实现，唯一觉的美中不足的就是LOGO！控制器的输入输出端子没有外置的指示。
 
以下介绍LOGO!-0BA6控制器应用于腐蚀清洗设备—硅片铝腐蚀清洗设备，介绍顺序按照工作的顺序进行：

一、系统原理：

该设备是用于6吋硅片铝腐蚀清洗设备，处理能力为每槽1只6吋片架。具体功能如图中所示：

按工艺处理顺序如图所示：

二、电气原理图和LOGO!控制器输入输出接线图

按照系统原理设计电气控制原理图和LOGO!控制器输入输出端子接线图如所示：  



在这台设备上主要是控制电磁阀的开关动作和电机启动动作，输入信号也多为开关量信号，还有使用到两个固定模拟量输出信号，主要用以驱动纯水清洗槽兆声启动装置，兆声发生器的工作发出兆声的功率由模拟量输出模块控制。以设备的原理和使用功能，这些动作对于简单的逻辑控制器是完全能够胜任的，还有就是LOGO!控制器的输出电子能够驱动10A的电流，这样对于硬件配置又可以省下不少，这点和常用的PLC相比较有很大的优势所在。还有就是OBA6自带的显示屏，不仅仅可以对程序进行编辑，还可以显示和修改程序内部使用计数器和定时器的设定值，可以下外置人机界面或者是计数器或者定时器，因为现在的用户是需要对设备中腐蚀的时间、批次和清洗的时间等自由更改，而这个对于LOGO！来说，它本身就全都解决了！

三、1，铝腐蚀系统LOGO！控制器梯形图程序截图：




 
2，LOGO!控制器输入输出表：
输入端子 信号名称 输出信号 信号名称
I1 腐蚀槽启动按钮 Q1 腐蚀槽旋转
I2 腐蚀槽复位按钮 Q2 腐蚀槽提拉
I3 CDA压力检测 Q3 腐蚀槽加热信号
I4 腐蚀液位压力检测 Q4 腐蚀槽排液信号
I5 腐蚀槽排液按钮 Q5 报警塔灯红色
I6 腐蚀槽加热按钮 Q6 报警塔灯黄色
I7 腐蚀槽液位温度到 Q7 报警塔灯绿色
I8 腐蚀槽液位温度异常 Q8 设备报警器
I9 腐蚀槽提拉高位 AQ1 兆声发生器1
I10 腐蚀槽提拉低位 AQ2 兆声发生器2
I11 兆声输出功率增加
I12 兆声输出功率减少

3，信息文本显示设置界面：

四、安装调试

经过以上的准备，就可以进行最终的安装、布线、程序调试工作，调试时使用编程软件的在线监控功能还是很方便的。但是在调试中发现了控制器的一点不足之处就是没有对应输入输出指示灯指示，虽然控制器本身的显示屏上是可以查看到输入输出的状态，但是还是没有控制器本身上带有硬件指示灯观察方便。调试完成后进行了5天的老化试验，控制器工作完全正常。

通过近两个月的学习和摸索，对LOGO!有了一定的了解，也清楚的知道逻辑控制器和PLC的区别，知道了，其实在实际的工作中，很多控制系统LOGO!控制器就足够了。只是在使用中不能向PLC一样随意使用内部继电器，所有要在有限的内部继电器情况下完成自己的设计目标。在使用的过程中也碰到了大大小小的很多问题，但最终都解决了，实现了自己的设计目的。
   
以上是个人的观点，有很多的不足和缺点，望多多指教！

附电气底板接线实物图：

作者简介
陈康, 性别：男，职称：电子工程师，公司名称：无锡市**电子有限公司

获奖证书：